กระบวนการการตัดแผ่นเวเฟอร์ (ประเทศไทย)

ปัจจัยแวดล้อม:

บริษัทผลิตฮาร์ดดิสก์ในประเทศไทย ในกระบวนการตัดแผ่นเวเฟอร์ซิลิกอนต้องมีการเปลี่ยนของเหลวหล่อเย็นเป็นประจำ ซึ่งหมายความถึงปริมาณในการใช้ของเหลวหล่อเย็นในการตัดที่สูงรวมไปถึงต้องมี Downtime หยุดเครื่องเพื่อเปลี่ยนของเหลวในกระบวนการ

ระบบของ STA:

เครื่องแยกตะกอนด้วยแรงเหวี่ยง STA S-15 ในเวอร์ชั่นที่เป็นสเตนเลส 1 ยูนิท ได้ถูกทดสอบติดตั้งเข้ากับเครื่องตัดเวเฟอร์ 1 เครื่อง ในเบื้องต้น และหลังจากนั้นมีการต่อเข้ากับเครื่องตัดอีก 3 เครื่องในเวลาถัดมากับเครื่องแยกตะกอนตัวเดียวกัน
เครื่องแยกตะกอนแรงเหวี่ยงถูกติดตั้งพร้อมกับปั๊มแบบมีตัวกรอง (membrane diaphragm pump)ซึ่งทำหน้าที่ปั๊มของเหลวหล่อเย็นจากถังบัฟเฟอร์เข้ามายังเครื่องแยกตะกอน ตัวเครื่องสามารถทำความสะอาดของเหลวได้ 10-20 ลิตรต่อนาที และส่งกลับไปยังถังบัฟเฟอร์ ซึ่งที่ถังนั้นจะมีปั๊มส่งของเหลวที่สะอาดกลับไปยังเครื่องตัดเวเฟอร์

เครื่องแยกตะกอนด้วยแรงเหวี่ยงทำงานอย่างต่อเนื่องส่งผลให้อายุการใช้งานของของเหลวใช้ได้ยาวนานขึ้นถึง 2 สัปดาห์ และยังส่งผลให้ประหยัดเวลาและไม่ต้องหยุดเครื่องในการเปลี่ยนของเหลวบ่อยครั้งอีกด้วย ในช่วงปีที่ผ่านมา เครื่องแยกตะกอน 8-9 เครื่องได้ถูกสั่งผลิตและติดตั้งเข้าไปที่กระบวนการตัดเวเฟอร์ของโรงงานแห่งนี้และทำงานได้อย่างยอดเยี่ยม

author avatar
webmate